@Onkel: Etwas wie MTr/mm2 sagt auch erst mal wenig aus, hilft also auch nicht wirklich weiter, da es davon abhängt wie der Prozess für ein konkretes Produkt genutzt wird und mit welchen Cell-Libraries verwendet und welchen Design Rules angewendet werden. Da kann am Ende eine beträchtliche Spanne an Möglichkeiten bei rauskommen.
Darüber hinaus, Intel kann sich hier eine Anpassung wohl noch am ehesten erlauben, da die relativ konservativ bzgl. ihrer "Namen" waren, da sie bisher nicht wirklich mit den Foundries konkurrierten, sondern die Fertigung nur für sich selbser nutzten. Zudem hat(te) Intel bisher eigentlich auch gar keine für die Öffentlichkeit gedachten, echten Prozessnamen. *) Der für CPUs genutzte 14nm-Prozess heißt P1272, der für bspw. 10nm-CPUs genutzte (Nicht-Foveros-)Prozess heißt P1274, deren aktuelle 7nm-CPU-Iteration heißt P1276.
Das mit den Namen wird erst jetzt mit der neuen IFS relevant, denn da werden potentielle Kunden natürlich unmittelbare Vergleiche anstellen und da sieht es erst mal blöd aus, wenn da 7nm oder gar 5nm dann 10 nm gegenüberstehen, wobei selbst wenn man die Zahlen für bare Münze nehmen würde, die auch noch nicht viel aussagen würde, da Prozesscharakteristika weitaus komplexer sind.
Beispielsweise auch TSMC kennt sich mit solchen Späßen sehr gut aus. Die haben bspw. in 2016 den Nachfolger für ihren 16FFC (ihre dritte 16nm-Iteration) vorgestellt und haben schließlich kurzerhand die vierte 16nm-Prozessiteration als einfach als 12FFC bezeichnet, weil man den "Kick" im Vergleich zu Samsung und GloFo brauchte. Dennoch handelt es sich bei dem Prozess letzten Endes weiterhin um eine 16nm-Iteration. Beispielsweise nVidia verwendete den in geringfügig modifizierter Form als 12FFN, d. h. hier konkurrierte man in den Folgejahren mit einem deutlich schlechteren Prozess, der auch noch vom Namen klar unterlegen war

in 2019 gegen RDNA mit TSMCs 7FFP und das sogar sehr erfolgreich, denn für mehr als einen groben Gleichstand reichte es bei RDNA i. V. z. Turing nicht, obwohl man den deutlich moderneren Prozess nutzte.
Zur Strukturgröße: Hier hängt es davon ab, was man misst. Beispielsweise EM-Aufnahmen zu Intels 10nm zeigen eine Breite/Stärke der FINs von etwa 7nm.
*) Etwas wie "14nm" ist kein Prozessname, sondern diente nur um die Medien beglücken zu können und später kamen die Plus-Zeichen hinzu um signifikante Weiterentwickungen zu kennzeichnen. Sicherlich die bessere Wahl, als einen internen, kryptischen Prozessnamen mit Revisionsnummer rauszugeben. Schließlich hat man es später dann mit den vielen Plus-Zeichen unbeabsichtigt und zwangsweise übertrieben, aber das war vorher ja nicht abzusehen, denn bevor es soweit kommen würde, wollte man schon längst auf dem nöchten Node sein. EIn Satz mit X.