ruyven_macaran
Trockeneisprofi (m/w)
Bin mir net sicher ob die Leute mit em starken Mikroskop an die Wafer lassen^^ Oder die Strukturen sin mittlerweile zu klein.
Da musst du nicht an den Wafer ran, da kannst du dir den Chip auch einfach im Laden holen
Die Strukturgrößen sollten keinen Einfluss haben - selbst wenn die Maskenstabilität nur Linien bis zu einer gewissen Dicke zulassen sollte, könnte man einfach mehrere nebenbeinander legen und hätte immer noch einen optischen Unterschied zu einer unbehandelten Fläche. Erst wenn die maximale(!) Strukturgröße größer als iirc die halbe Wellenlänge des einfallenden Lichtes wird, müsste es imho schwierig werden.